1. Puhastus- ja saastest puhastamise tööriistad
Plasmapuhastusseadmed: kasutatakse oksiidide, sõrmejälgede või jääkide eemaldamiseks positsioneerimisavade pinnalt, tagades, et pinna puhtus vastab kõrgetele{0}}täpsusnõuetele.
Isopropüülalkohol: kasutatakse positsioneerimisavade pinna pühkimiseks, abistades puhastusprotsessis.
2. Kaitse- ja käsitsemisvahendid
Antistaatilised kindad: kantakse töö ajal, et staatiline elekter ei kahjustaks täppiskomponente.
3. Räbustikatte tööriistad
Fluorestsentskatte tööriistad: sealhulgas kontaktpihustid või mitte{0}}kontaktpihustusseadmed, mida kasutatakse voo ühtlaseks pihustamiseks positsioneerimisavade pinnale. Kontaktpihustid võimaldavad pihustuskogust täpselt juhtida, samas kui mittekontaktne pihustamine-sobib ülitäpsete stsenaariumide jaoks.
4. Muud abivahendid
Täppismõõteriistad: näiteks mikromeetrid või optilised kontrollseadmed, mida kasutatakse positsioneerimisavade mõõtmete täpsuse ja pinnakareduse kontrollimiseks.
